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晶圆单片式清洗机
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晶圆单片式清洗机

产品时间:2021-02-05 14:55:34

简要描述:

全自动连接器电镀生产线属于节能、环保型自动化式连续电镀设备,可生产的产品种类多范围广。 产品种类:接插件端子、壳子类;各工艺参数均可实时检测存储,随用随调取;换线时可一键切换、操作简单方便.

详细介绍

主要优势


  • 自主研发的智能精准的传输控制系统

  • 全自动化学品集中供液系统(CDS);药液溢流设计,减少单片药液用量,降低使用成本清洗效果强,清洗良品率≥99%

  • 可选配多组合的晶圆清洗工艺;对颗粒管控能力,≥0.1μm颗粒少于15颗

  • 药液槽采用双槽体设计,可实现精确控温独立控制废液排气,有效保护人员作业适用工艺


集成电路领域:CMP后、膜前清洗、去胶清洗、氮化硅腐蚀、RCA清洗、外延前清洗

先进封装领域:TSV刻蚀后清洗、UBM/RDL清洗、键合清洗



 


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