工作原理:
等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成,是物质的第四态。在等离子体中除了气体分子、离子和电子外,还有存在受到能量激励状态电中性的原子或原子团(又称自由基),以及等离子体发射出的光线,其中波的长短、能量的高低,在等离子体与物体表面相互作用时有着重要的作用。
(1)原子团等自由基与物体表面的反应
(2)电子与物体表面的作用
(3)离子与物体表面的作用
(4)紫外线与物体表面的反应
主要用途:
去除灰尘和油污、去静电;
提高表面浸润功能,形成活化表面;
提高表面附着能力、提高表面粘接的可靠性和持久性;
刻蚀物的处理作用.