水平电镀槽 | |
装置 | 介绍 |
晶圆尺寸 | 6 ~ 12 英寸/inch（150mm ~ 300mm） |
均匀性 | 片内/片间 ≤ 5% |
阳极 | 导电、补充金属离子 |
遮蔽板 | 遮挡边缘强电流区，改善电流区分布 |
搅拌叶轮 | 电流均匀化、强化液流交换 |
阴极导电片 | 晶圆和整流器连接桥梁 |
服务热线
0512-36869849
产品时间：2026-09-04 14:32:35
简要描述：
水平电镀槽 装置介绍晶圆尺寸6 ~ 12 英寸/inch（150mm ~ 300mm）均匀性片内/片间 5%阳极导电、补充金属离子 遮蔽板 遮挡边缘强电流区，
水平电镀槽 | |
装置 | 介绍 |
晶圆尺寸 | 6 ~ 12 英寸/inch（150mm ~ 300mm） |
均匀性 | 片内/片间 ≤ 5% |
阳极 | 导电、补充金属离子 |
遮蔽板 | 遮挡边缘强电流区，改善电流区分布 |
搅拌叶轮 | 电流均匀化、强化液流交换 |
阴极导电片 | 晶圆和整流器连接桥梁 |
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