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晶圆垂直电镀设备

产品时间:2026-09-04 14:36:51

简要描述:

参数 技术参数晶圆尺寸6 ~ 12 英寸/inch(150mm ~ 300mm)框架材料5050mm 304不锈钢管+10mm PP板包覆 温度控制1℃电源额定

详细介绍

晶圆垂直电镀设备1.jpg

参数 

技术参数

晶圆尺寸

6 ~ 12 英寸/inch(150mm ~ 300mm)

框架材料

50×50mm 304不锈钢管+10mm PP板包覆

 温度控制

±1℃

电源

额定频率50Hz、三相380V交流电

金属镀层

Cu, Ni, Sn/ Ag, Au etc.

均匀性

片内/片间 ≤ 8%

应用领域

Pillar, Bump, RDL, TSV 等

控制系统

控制系统可定制化,具备快速更新能力


 


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