
参数 | 技术参数 |
晶圆尺寸 | 6 ~ 12 英寸/inch(150mm ~ 300mm) |
框架材料 | 50×50mm 304不锈钢管+10mm PP板包覆 |
温度控制 | ±1℃ |
电源 | 额定频率50Hz、三相380V交流电 |
金属镀层 | Cu, Ni, Sn/ Ag, Au etc. |
均匀性 | 片内/片间 ≤ 8% |
应用领域 | Pillar, Bump, RDL, TSV 等 |
控制系统 | 控制系统可定制化,具备快速更新能力 |
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